<<Назад в Список оборудования по категориям
Описание[]
Система микроволнового удаления резиста TRION APPOLO (Stripper)
Компактная, недорогая и универсальная система, позволяющая проводить процессы с 100-300 мм подложками, разработанная специально для удовлетворения потребностей современного производства. Использование ICP, микроволн и RF bias, позволяет удалить слои резиста при низких температурах. Система может комплектоваться микроволновым источником SST-Lightning, или ICP. MEMS, полупроводниковые компаунды, мелкосерийное производство.
Статус[]
ждем поставки...
Основные характеристики[]
- Скорость травления 6um/мин
- 100 – 300мм подложки
- Высокая производительность
- Малая занимаемая площадь
- Низкие повреждения
- Конкурентоспособная цена
- Автонастройка
Меры безопасности при работе[]
Меры безопасности при работе приведены в руководстве по эксплуатации Файл:Manual-APOIII Ver2.pdf